金融界2025年6月2日消息，国家知识信息显示，罗伯特·博世有限公司申请一项名为“微电子机械传感器和用于制造微电子机械传感器的方法”的，公开号CN120057843A，申请日期为2024年11月传感器。
摘要显示，本发明涉及一种微电子机械传感器(1)，其具有带有传感器结构(3)和盖基底(4)的传感器基底(2)，在盖基底(4)和传感器基底(2)之间至少在所述传感器结构(3)的区域中构造有第一腔区域(5)，其中，所述盖基底(4)具有至少一个通道(6)，所述至少一个通道(6)从所述盖基底(4)的第一侧(7)出发穿过所述盖基底(4)延伸到第一腔区域(5)中，其中，所述盖基底(4)在所述第一侧(7)上邻接到所述通道(6)地具有一区域(8)，其中，至少所述区域(8)设有疏水的表面涂层(9)传感器。本发明还包括一种用于制造微电子机械传感器的方法(100)。
来源：金融界